上海
CINNOResearch 產業資訊，LG顯示正在研發高遷移率氧化物（HMO，High Mobility Oxide）薄膜晶體管（TFT）背板新技術，計劃用于6代線中小尺寸OLED產品。繼低溫多晶氧化物（LTPO）TFT之后，蘋果將HMO視作下一代低功耗背板備選方案并展開評估，LG顯示由此正式啟動該項技術驗證工作。
據業內6月1日消息，獲悉LG顯示已在6代中小尺寸OLED產線推進HMO技術的開發與驗證。一位業內人士表示：“HMO相關技術與設備已進駐6代產線，用于研發和試樣驗證。”目前該技術具體立項研發時間尚未對外披露。不同于三星顯示在8.6代產線采用原子層沉積（ALD）工藝，LG顯示選擇依托濺射設備量產制備HMO。
業內普遍預判，蘋果手表等智能穿戴OLED屏幕，或將成為LG顯示HMO技術的首個落地應用場景。另一位行業人士透露：“據了解，LG顯示計劃自明年起率先向智能手表終端供貨。蘋果不傾向單一供應商獨家供貨，偏好二供、三供的供應鏈多元化策略，以此在議價中占據優勢。”
HMO是用于顯示屏驅動電路TFT的技術路線之一。TFT屬于半導體元器件，通過管控電流通斷實現開關控制，現有技術主要分為非晶硅（a-Si）、低溫多晶硅（LTPS）、LTPO、氧化物四大類。
其中氧化物技術無需像LTPS、LTPO那樣經過激光晶化、離子注入等工序，具備天然低功耗優勢。LTPO融合了LTPS與氧化物兩者優勢并廣泛應用在中小尺寸OLED面板，而HMO則在氧化物原有基礎上進一步深挖低功耗、低成本的技術優勢。
傳統氧化物材料電子遷移率偏低，是其在高分辨率、高刷新率OLED產品中驅動性能受限的短板；當前量產級氧化物電子遷移率普遍低于10cm2/Vs，行業為下一代IT類OLED用氧化物定下30~50cm2/Vs的遷移率目標，提升氧化物電子遷移率正是HMO技術的核心攻關方向。
LG顯示選用的濺射工藝是氧化物制程常用的成膜方式，優勢在于易兼容現有成熟制程、可沿用存量量產設備，但難點在于HMO需要同時滿足高電子遷移率、大面積成膜均勻性與長期可靠性三項指標。
LG顯示發力HMO研發，與蘋果下一代OLED產品技術迭代規劃深度綁定。行業慣例是：蘋果先聯合LG顯示在手表產品上完成新技術驗證，待拓展至手機端時，再同步要求三星顯示、LG顯示兩家面板廠商共同開發落地。
業內相關人士稱：“各大面板廠早已自主布局HMO研發。過往蘋果新背板技術均先和LG顯示在手表端驗證，進入手機量產階段后再擴容至三星、LG雙供應商。本次HMO項目與此相似，應用范圍除手機外，還將延伸至IT類OLED產品。”
不過HMO的落地機型與量產時點仍未敲定，最終能否商用取決于客戶產品規劃與設備驗證結果。LG顯示仍需依托6代產線完成HMO量產可行性驗證，電子遷移率、制程溫度、成膜均勻度、產品可靠性與良率是驗證成敗的關鍵指標。
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